描述
德國 Mahr 精密表粗/輪廓量測儀 XCR 20 < 規格 > * 表粗量測 * ( GD25 )
感測範圍 : +/- 250 um ( 視測頭型式而定 )
切斷值 ( cut-off ) : 0.08 / 0.25 / 0.8 / 2.5 / 8.0 mm
量測行程 : 0.56 / 1.75 / 5.6 / 17.5 / 56.0 mm ( 標準 ) 0.56 – 25.0 mm 可設定 . ( 特殊 )
評估樣本數 : 1 – 5 可設定
參數種類 : Ra, Rq, Rz, Rt, Rp, Pt, Wt, Rmax, Rpc, R3z, R3z max, Rv, RSm, Rdq, Rsk, Rku, Rdc, Rmr, Pmr, Pdc, Rpk, Wt Rk, Rvk, Mr1, Mr2, A1, A2, Wa, W Sm, Pa, P Pc .
解析度 : 0.8 / 8.0 nm
X 軸驅動行程 : 25 mm
* 輪廓量測 * ( PCV 200 )
X 軸驅動行程 : 1 – 200 mm
Z 軸感測行程 : 50 mm 當測頭長為 350 mm 25 mm 當測頭長為 175 mm
真直度誤差 : < 1um / 200mm
定位精度 : X 軸向 – 1 um
Z 軸向 – 1 um
感測系統 : X 軸向 – 高精密光學尺系統 ( 經 Laser 干涉儀校驗 )
Z 軸向 – 高精密感知器 ( Mahr 專利 )
感測系統解析度( Z ) : 0.04 um
量測力 : 2 mN – 120 mN
測頭長度 : 175 / 350 mm 兩種
探頭端半徑 : 0.025 mm
最大工件長度 : 約 500 mm
最大工件高度 : 約 450 mm
花崗岩基座尺寸 : 700 (L) x 550 (W) mm
