精密花崗石平台 等級分為00級.0級.1級
1級精密花崗石平台規格
三豐編號
規 格
平面度
517-101
300×300×100mm
5µm
517-111
450×300×100mm
6µm
517-114
600×450×100mm
8µm
517-103
600×600×130mm
517-105
750×500×130mm
9µm
517-107
1000×750×150mm
12µm
517-109
1000×1000×150mm
13µm
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