描述
- 三軸空氣軸承。
- 預壓式空氣軸承，可得較佳之動態剛性及較小之空氣間隙。
- 門式設計移動結構，不易扭曲變形，結構穩定。
- 三軸均為花崗岩，材質穩定性高，具更高之幾何精度。
- 三軸及量測平台均為經時效處理之花崗岩材質,溫度係數相同，幾何結構穩定，可保持長時間之高幾何精度，耐用性佳。
- X軸、Z軸均以花崗岩中空近方型設計，重量輕，剛性佳，運動幾何變形小。
- Ｙ軸與量測平台為一體成型，相對幾何精度佳，無應力集中、變形的問題。
- 各主要零組件精度要求至0級或00級，幾何精度高。
- Z軸有氣壓平衡設計及安全裝置，防止Z軸掉落。
